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＜図書＞
コウジュンドカ ギジュツ タイケイ
高純度化技術大系 / 保母敏行{ほか}監修

出版者	東京 : フジ・テクノシステム
出版年	1996.11-1997.12
大きさ	全3冊 ; 26cm
著者標目	保母, 敏行(1940- ) <ホボ, トシユキ(1940- )> 大矢, 晴彦(1936- ) <オオヤ, ハルヒコ(1936- )> 長浜, 邦雄(1942-) <ナガハマ, クニオ >
一般注記	別書名: Handbook of high-purification technology

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